MEMS mit reduzierter akustischer Impedanz

Ein MEMS mit einem fluidischen Kanal in zumindest einer MEMS-Schicht wird bereitgestellt. Der fluidische Kanal ist ausgebildet, um eine fluidische Verbindung zwischen einer ersten Kanalseite und einer zweiten Kanalseite bereitzustellen. Eine Seitenwandstruktur des fluidischen Kanals weist eine Scallop-Anordnung auf, wobei der akustische Kanal durch die Scallop-Struktur eine effektive akustische Kanalbreite aufweist, die gegenüber einer Nennkanalbreite vergrößert ist.