Title

Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen
Date Issued
1990
Author(s)
Lackmann, R.
Patent No
1989-3922204
Abstract
Bei einem Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen mittels optischer Erfassung von feldabhaengigen Teilchenausrichtungen in einem Fluessigkristall wird eine Erfassung von Spannungen auch eng benachbarter Schaltungsstrukturen trotz optischer Erfassbarkeit von wenigstens zwei verschiedenen Spannungsbereichen innerhalb der integrierten Schaltung dadurch erreicht, dass eine ein zeitlich im wesentlichen konstantes Potential aufweisende Aequipotentialflaeche in einem bestimmten Abstand zu der integrierten Schaltung erzeugt wird.
Language
de
Institute
Link
Patenprio
DE 1989-3922204 A: 19890706