Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen

Bei einem Verfahren zum beruehrungslosen Messen von Spannungen innerhalb von integrierten Schaltungen mittels optischer Erfassung von feldabhaengigen Teilchenausrichtungen in einem Fluessigkristall wird eine Erfassung von Spannungen auch eng benachbarter Schaltungsstrukturen trotz optischer Erfassbarkeit von wenigstens zwei verschiedenen Spannungsbereichen innerhalb der integrierten Schaltung dadurch erreicht, dass eine ein zeitlich im wesentlichen konstantes Potential aufweisende Aequipotentialflaeche in einem bestimmten Abstand zu der integrierten Schaltung erzeugt wird.