Vorrichtung zur Aufnahme eines Prueflings in einem stationaeren Diffraktometer

2Vorrichtung zur Aufnahme eines Prueflings in einem stationaeren Diffraktometer zwecks Spannungs- und/oder Texturanalyse einer duennen Oberflaechenschicht des Prueflings, wobei ein Roentgenprimaerstrahl streifend zur Oberflaechenebene des Prueflings auf diesen gerichtet ist und die Reflexionswinkel bzw. -intensitaeten vermessen werden. Die Vorrichtung besteht aus einem Aufnahmeelement fuer den Pruefling, welches um eine erste Achse verdrehbar und um eine quer zu dieser verlaufende zweite Achse verkippbar ist, und soll die Einstellung verschiedener Kippwinkel <Psi> bei konstantem Einfallswinkel <alpha> ermoeglichen. Erfindungsgemaess ist der ersten Achse ein erster Positionierantrieb und der zweiten Achse ein zweiter Positionierantrieb zugeordnet. Beide Positionierantriebe stehen zwanglaufartig mit einer Steuereinrichtung derart in Wirkverbindung, dass in Abhaengigkeit vom Kippwinkel der zweite Positionierantrieb eine Verkippung des Aufnahmeelements um einen ersten Einstellwinkel <eta> gemaess Formel 1 und der erste Positionierantrieb eine Verdrehung des Aufnahmeelements um einen zweiten Einstellwinkel <delta> gemaess Formel 2 als Rueckdrehung bewirkt.

DE 4114582 A UPAB: 19931006 The appts. includes a mounting element (9) for the object rotatable about an axis (11) perpendicular to the object's surface plane and tiltable about a second axis (4) perpendicular to the first in a plane contg. primary and secondary x-ray beams. A bearing body is attached to the diffractometer table. Each axis has an associated positioning drive (8). The drives are controlled so that, depending on a selected tilt angle of the second drive, the holder is tilted by a setting angle and the drive causes a second defined restoring rotation of the holder. USE/ADVANTAGE - For investigating tension and/or texture of thin surface layer of test object, esp. deposited layers on substrates. Defined tilt angles can be set up for a selected constant angle of incidence of primary x-ray beam. 1/3