Vorrichtung und Verfahren zur Interferenzstrukurierung von Proben sowie dergestalt strukturierte Proben

Die vorliegende Erfindung beschreibt eine Vorrichtung (sowie ein Verfahren und eine entsprechende Probenstruktur) zur Interferenzstrukturierung einer bevorzugt flächigen Probe mit einem Laser, einer im Strahlengang des Lasers positionierten Fokussieranordnung, mit der die Laserstrahlung in einer ersten Raumrichtung fokussiert in ein Probenvolumen, in dem die Probe positionierbar ist oder positioniert ist, abbildbar ist, einer im Strahlengang des Lasers angeordneten Auftrennanordnung, mit der die Laserstrahlung in einer zweiten, zur ersten Raumrichtung nicht parallelen, bevorzugt zur ersten Raumrichtung orthogonalen Raumrichtung mit zwei Strahlenbündeln so auf das Probenvolumen richtbar ist, dass die beiden Strahlenbündel innerhalb des Probenvolumens in einem Interferenzbereich interferieren, und mindestens einer im Strahlengang des Lasers positionierten Projektionsmaske.

The present invention describes a device (and a method and a corresponding sample structure) for the interference structuring of a preferably planar sample comprising a laser, a focusing arrangement, which is positioned in the beam path of the laser and by which the laser radiation, in a manner focused in a first spatial direction, can be imaged into a sample volume in which the sample can be positioned or is positioned, a splitting arrangement, which is arranged in the beam path of the laser and by which the laser radiation can be directed in a second spatial direction, which is not parallel to the first spatial direction and is preferably orthogonal with respect to the first spatial direction, with two beams to the sample volume such that the two beams interfere within the sample volume in an interference region, and at least one projection mask positioned in the beam path of the laser.