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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes bei der Zerteilung eines flachen Werkstückes in Teilstücke
 
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Patent
Title

Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes bei der Zerteilung eines flachen Werkstückes in Teilstücke

Other Title
Method for checking a separation step during the dicing of a planar workpiece into sections
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes, mit dem ein flaches Werkstück entlang einer oder mehrerer Trennlinien in Teilstücke zerteilt wird, insbesondere für die Vereinzelung von Bauelementen aus einem Halbleitersubstrat. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass nach dem Trennschritt durch einen Vergleich der Oberflächenneigung jeweils benachbarter Teilbereiche des Werkstücks bestimmt wird, ob die jeweils benachbarten Teilbereiche gegeneinander verkippt und damit voneinander getrennt sind. Das Verfahren ermöglicht eine automatisierte Überwachung des Erfolgs eines Trennschrittes auch bei Trennverfahren, die spaltfrei arbeiten.
Inventor(s)
Tobisch, Alexander
Schellenberger, Martin  
Lewke, Dirk
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=102015225929A1
Patent Number
102015225929
Publication Date
2017
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB  
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