MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben

Ein MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids umfasst ein Substrat, das einen Schichtstapel mit einer Mehrzahl von Schichten aufweist, die eine Mehrzahl von Substratebenen bilden, und das eine Kavität in dem Schichtstapel aufweist. Der MEMS-Wandler umfasst ein elektromechanischen Wandler, der mit dem Substrat in der Kavität verbunden ist und ein sich in zumindest einer Bewegungsebene der Mehrzahl von Substratebenen verformbares Element aufweist, wobei eine Verformung des verformbaren Elements in der Bewegungsebene und der Volumenstrom des Fluids kausal zusammenhängen. Der MEMS-Wandler umfasst ein elektronischen Schaltung, die in einer Schicht des Schichtstapels angeordnet ist, wobei die elektronische Schaltung mit dem elektromechanischen Wandler verbunden ist, und die ausgebildet ist, um eine Konvertierung zwischen einer Verformung des verformbaren Elements und einem elektrischen Signal bereitzustellen.

The invention relates to a MEMS converter for interaction with a volume flow rate of a fluid, the MEMS converter comprising a substrate which has a layer stack with a plurality of layers forming a plurality of substrate planes, and which has a cavity in the layer stack. The MEMS converter comprises an electromechanical converter which is connected to the substrate in the cavity and has an element which can be deformed in at least one plane of movement of the plurality of substrate planes, wherein a deformation of the deformable element in the plane of movement and the volume flow rate of the fluid are causally related. The MEMS converter comprises an electronic circuit which is located in a layer of the layer stack, wherein the electronic circuit is connected to the electromechanical converter and is designed to provide a conversion between a deformation of the deformable element and an electric signal.