Verfahren zur Ausbildung von Oberflächenschichten auf elektrisch leitenden Substraten

(A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ausbildung von Oberflächenschichten auf Substraten, wobei die ausgebildeten Oberflächenschichten mit diamantähnlichem Kohlenstoff gebildet sind. Die Substrate sind dabei elektrisch leitend und aus oder zumindest auch mit einem Carbid gebildet. Aufgabe der Erfindung ist es, eine Ausbildung von Oberflächenschichten auf elektrisch leitenden Substraten, die mit einem Carbid gebildet sind, aus diamantähnlichem Kohlenstoff kostengünstig und auch auf konturierten Oberflächen zu ermöglichen. Bei der Erfindung wird ein Substrat elektrisch als eine Elektrode geschaltet. Zur Ausbildung der Oberflächenschicht aus diamantähnlichem Kohlenstoff (DLC) erfolgt eine elektrochemische Zersetzung des Carbids in Kohlenstoff und ein Oxid des carbidbildenden Metalls. Hierfür ist in einem Abstand zum Substrat eine Gegenelektrode angeordnet und im Spalt zwischen Elektrode und Gegenelektrode ein geeigneter Elektrolyt vorhanden. Bei Einsatz einer Gleichspannung für die elektrochemische Zersetzung ist das Substrat als Anode und die Gegenelektrode als Kathode geschaltet.

DE 102006019808 A1 UPAB: 20071129 NOVELTY - Production of surface layers on an electrically conducting substrate made from carbide comprises electrically connecting the substrate as an electrode, decomposing the carbide into carbon and an oxide of a carbide-forming metal via an electrolyte using a counter electrode and dissolving the oxide in the electrolyte to form a surface layer made from a diamond-like carbon material on the substrate. USE - Used in a vacuum deposition process. ADVANTAGE - The layers can be produced on contoured surfaces.