Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

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  • Patent
    Method for characterizing movable micro-mirror for projector used in e.g. digital camera, involves determining function parameters of micro-mirror by evaluating device, based on detected portions of test image of micro-mirror
    ( 2011)
    Specht, H.
    ;
    Kurth, S.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Fiess, R.
    ;
    Krayl, O.
    ;
    Krueger, M.
    ;
    Wiest, G.
    ;
    Hilberath, T.
    The method involves generating the steerable and modulatable light beams (220) by a light beam generating unit (200). The test images (240) of a movable micro-mirror (210) are generated by deflecting the movable micro-mirror and by modulating the light beams directed towards the micro-mirror. The upper edge, lower edge, right edge and left edge of test image are detected by a surface sensor (250). The function parameters such as mechanical parameters and image quality parameters of micro-mirror are determined by an evaluating device (260), based on detected portions of test image. Independent claims are included for the following: (1) device for characterizing movable micro-mirror; and (2) computer program for characterizing movable micro-mirror.
  • Patent
    Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung von Ausfallprozessen
    ( 2009)
    Wittler, O.
    ;
    Wunderle, B.
    ;
    Mazloum Nejadari, S.
    ;
    Schacht, R.
    ;
    Michel, B.
    (A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung eines Gegenstandes 3, bei welchem eine durch die fortschreitende Beschaedigung des zu untersuchenden Gegenstandes 3 hervorgerufene Veraenderung des Antwortverhaltens einer oder mehrerer temperaturabhaengiger Messgroessen auf die Einpraegung eines definierten Heizimpulses 10 auf den Gegenstand untersucht wird. Hierbei wird der definierte Heizimpuls 10 durch elektrische Ansteuerung von Mitteln zur Waermeerzeugung 1, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, erzeugt und das Antwortverhalten auf das Aufbringen des definierten Heizimpulses an Mitteln zur Temperaturerfassung 2, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, ueber mindestens eine durch die Mittel zur Temperaturerfassung 2 erzeugte elektrische Messgroesse gemessen.
  • Patent
    Vorrichtung und Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    (B3) Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche, in einem Kanal mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche umfasst und einer Einrichtung zum Aufbau einer Druckdifferenz in dem Kanal, so dass die Fluessigkeit in einer ersten Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt wird, bis zu einem vorbestimmten Zeitpunkt, um die aufgebaute Druckdifferenz an dem vorbestimmten Zeitpunkt zu reduzieren. Der Kanal ist dabei so ausgebildet, dass sich bei Bewegung der Fluessigkeit in der ersten Richtung eine der Druckdifferenz entgegengerichtete Gegendruckdifferenz aufbaut, die die Fluessigkeit in eine zweite, der ersten Richtung entgegengesetzte Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche in einem Kanal, mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche aufweist.
  • Patent
    Mikropumpe und Verfahren zum Pumpen eines Fluids
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Baum, M.
    ;
    Morschhauser, A.
    (A1) Eine Mikropumpe weist eine Membran auf, die sich ueber einen Querschnitt eines Fluidkanals erstreckt und eine fluidische Komponente mit einer Durchgangsoeffnung durch die Membran aufweist, wobei die fluidische Komponente derart ausgebildet ist, dass ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in einer ersten Richtung groesser ist, als ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in eine zweite Richtung, so dass eine Hin- und Herauslenkung der Membran einen Nettofluidfluss durch die fluidische Komponente in die erste Richtung hervorruft. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Pumpen eines Fluids mittels derselben Mikropumpe.
  • Patent
    Testeinrichtung fuer mikromechanische Bauelemente
    ( 2007)
    Kurth, S.
    ;
    Böhme, M.
    (A1) Es wird eine Testeinrichtung fuer mikromechanische Bauelemente vorgeschlagen, bei der mindestens ein ein bewegliches Teil aufweisendes mikromechanisches Bauelement auf einer Auflage angeordnet ist und eine Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen des beweglichen Teils und eine Vorrichtung zum Erfassen der Auslenkung bzw. von Schwingungen vorgesehen sind. Die Vorrichtung zum Hervorrufen einer Auslenkung bzw. von Schwingungen weist Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Feldes ggf. wechselnder Staerke auf, dem das bewegliche Teil des mikromechanischen Bauelementes ausgesetzt ist.
  • Patent
    Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran
    ( 2007)
    Otto, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Voigt, S.
    (A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere fuer Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fliessfaehigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt veraendert, um eine Anhaeufung der Partikel an einer oder mehreren Stellen der Schicht zu erhalten. Die Schicht wird anschliessend mit den angehaeuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermoeglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.
  • Patent
    Mikromechanische Schaltervorrichtung mit mechanischer Kraftverstärkung
    ( 2007)
    Frömel, J.
    ;
    Voigt, S.
    ;
    Kurth, S.
    ;
    Leidich, S.
    ;
    Bertz, A.
    ;
    Kaufmann, C.
    ;
    Gessner, T.
    (A1) Es wird eine mikromechanische Schaltervorrichtung zum Schalten einer auf einem Substrat vorgesehenen unterbrochenen HF-Signalleitung mit einem Schalterteil und einem das Schalterteil verschliessenden Deckel vorgeschlagen, wobei das Schalterteil mindestens einen ohmschen Schaltkontakt zum Ueberbruecken und Trennen der HF-Signalleitung und einen mindestens eine feststehende und eine bewegliche Elektrode aufweisenden elektrostatischen Antrieb zum Betaetigen des Schaltkontakts umfasst. Zwischen elektrostatischem Antrieb und Schaltkontakt ist eine Vorrichtung zur mechanischen Kraftverstaerkung geschaltet. Dabei kann die Vorrichtung zur Kraftverstaerkung als Hebelanordnung und/oder als elastisches Element mit progressiver Wirkung ausgebildet sein.
  • Patent
    Substrat mit einer Kupfer enthaltenden Beschichtung und Verfahren zu deren Herstellung mittels Atomic Layer Deposition
    ( 2007)
    Gessner, T.
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    Schulz, S.
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    Wächtler, T.
    ;
    Lang, H.
    ;
    Jakob, A.
    Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substrats mit einer Beschichtung aus Kupfer bzw. einer Kupfer enthaltenden Beschichtung mittels Atomlagenabscheidung (ALD). Hierfür wird als Kupfer-Precursor ein Fluor-freier Kupfer (I)-Komplex der Formel $I1 eingesetzt, bei dem L ein sigma-Donor-pi-Akzeptor oder ein sigma,pi-Donor-pi-Akzeptor Ligand ist und bei dem $I2 ein zweizähniger Ligand ist, nämlich ein beta-Diketonat, ein beta-Ketoiminat, ein beta-Diiminat, ein Amidinat, ein Carboxylat oder ein Thiocarboxylat.