Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

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  • Patent
    Method for characterizing movable micro-mirror for projector used in e.g. digital camera, involves determining function parameters of micro-mirror by evaluating device, based on detected portions of test image of micro-mirror
    ( 2011)
    Specht, H.
    ;
    Kurth, S.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Fiess, R.
    ;
    Krayl, O.
    ;
    Krueger, M.
    ;
    Wiest, G.
    ;
    Hilberath, T.
    The method involves generating the steerable and modulatable light beams (220) by a light beam generating unit (200). The test images (240) of a movable micro-mirror (210) are generated by deflecting the movable micro-mirror and by modulating the light beams directed towards the micro-mirror. The upper edge, lower edge, right edge and left edge of test image are detected by a surface sensor (250). The function parameters such as mechanical parameters and image quality parameters of micro-mirror are determined by an evaluating device (260), based on detected portions of test image. Independent claims are included for the following: (1) device for characterizing movable micro-mirror; and (2) computer program for characterizing movable micro-mirror.
  • Patent
    Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung von Ausfallprozessen
    ( 2009)
    Wittler, O.
    ;
    Wunderle, B.
    ;
    Mazloum Nejadari, S.
    ;
    Schacht, R.
    ;
    Michel, B.
    (A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung eines Gegenstandes 3, bei welchem eine durch die fortschreitende Beschaedigung des zu untersuchenden Gegenstandes 3 hervorgerufene Veraenderung des Antwortverhaltens einer oder mehrerer temperaturabhaengiger Messgroessen auf die Einpraegung eines definierten Heizimpulses 10 auf den Gegenstand untersucht wird. Hierbei wird der definierte Heizimpuls 10 durch elektrische Ansteuerung von Mitteln zur Waermeerzeugung 1, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, erzeugt und das Antwortverhalten auf das Aufbringen des definierten Heizimpulses an Mitteln zur Temperaturerfassung 2, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, ueber mindestens eine durch die Mittel zur Temperaturerfassung 2 erzeugte elektrische Messgroesse gemessen.