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    CVD-Diamantwerkzeuge mit SiC-Zwischenschicht
    ( 2019)
    Uhlmann, E.
    ;
    Barth, E.
    ;
    Gäbler, J.
    ;
    Höfer, M.
    Der Cobalt-(Co)-Anteil in Hartmetallen diffundiert während des Diamantbeschichtungsprozesses in die Diamantschicht und mindert deren Haftfähigkeit. Siliciumcarbid-(SiC)-Zwischenschichten können als Diffusionsbarriere für Cobalt dienen und die konventionelle Ätzvorbehandlung der Substrate ersetzen. Im Rahmen einer Forschungsarbeit werden Beschichtungsprozesse mit SiC-Zwischenschicht entwickelt, diese Schichtsysteme auf verschiedene Substrate aufgebracht und durch Zerspanungsuntersuchungen bewertet.