CVD-Diamantwerkzeuge mit SiC-Zwischenschicht

Der Cobalt-(Co)-Anteil in Hartmetallen diffundiert während des Diamantbeschichtungsprozesses in die Diamantschicht und mindert deren Haftfähigkeit. Siliciumcarbid-(SiC)-Zwischenschichten können als Diffusionsbarriere für Cobalt dienen und die konventionelle Ätzvorbehandlung der Substrate ersetzen. Im Rahmen einer Forschungsarbeit werden Beschichtungsprozesse mit SiC-Zwischenschicht entwickelt, diese Schichtsysteme auf verschiedene Substrate aufgebracht und durch Zerspanungsuntersuchungen bewertet.

The cobalt (Co) content in cemented carbide tools diffuses into the diamond layer during the coating process and reduces its adhesive strength. Siliciumcarbid-(SiC)-interlayers can serve as a diffusion barrier for cobalt and replace the conventional etching pre-treatment of blanks. In a research project different coating processes with SiC-interlayer are developed, the coating systems are applied to different substrates and evaluated in cutting experiments.