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1998
Doctoral Thesis
Title
Reaktive Abscheidung von Metalloxiden auf Polycarbonat zur Erzeugung transparenter VerschleiĆschutzschichten
Abstract
Diese Arbeit befaĆt sich mit transparenten VerschleiĆschutzschichten auf der Basis von Metalloxiden (SiOx, AlOx, SnOx und MgOx), die mit dem anodischen Vakuumbogen auf transparentem Polycarbonat abgeschieden werden. Technische Anwendungen aus dem Bereich des VerschleiĆschutzes stehen dabei im Vordergrund. Um Metalloxidschichten abzuscheiden muĆ das anodische Lichtbogen-Verfahren reaktiv betrieben werden. Dazu muĆ das Verfahren durch geeignete Wahl der Reaktivgaszuführung, der Tiegelmaterialien und der Beschichtungsparameter in einen reaktiven Prozeà überführt werden. Am Beispiel verschiedener Metalloxidschichten auf Polycarbonat wird der EinfluĆ der Plasmamodifikation und der Beschichtungsparameter auf optische Eigenschaften (Transmissions- und Streulichtanteil in einem WellenlƤngenbereich zwischen 250 und 800 nm), die Haftfestigkeit, die VerschleiĆbestƤndigkeit und die Schichtstruktur der abgeschiedenen Schichten untersucht. PolymeroberflƤchen kƶnnen nur dann haftfest beschichtet werd en, wenn diese in geeigneter Weise modifiziert werden. Eine Korrelation zwischen dem polaren Anteil der OberflƤchenenergie des Polymers und der Haftfestigkeit der abgeschiedenen Metalloxidschichten konnte festgestellt werden. Des weiteren ist, neben der OberflƤchenpolaritƤt die Mikrostrukturierung der SubstratoberflƤche maĆgeblich für die Haftfestigkeit der abgeschiedenen Metalloxidschichten. Der Zusammenhang zwischen der Haftfestigkeit und dem VerschleiĆverhalten der Metalloxidschichten wird dargelegt. In der Arbeit wird gezeigt, daĆ der anodische Vaakuumbogen geeignet ist, qualitativ hochwertige transparente VerschleiĆschutzschichten auf der Basis von Metalloxidschichten abzuscheiden. Die VerschleiĆeigenschaften der Metalloxidschichten sind mit den derzeitig industriell eingesetzten organischen Kratzfestlacken vergleichbar und erfüllen weitgehend die Kriterien aus der Industrie für eine den VerschleiĆanforderungen genügende Beschichtung. Die VerschleiĆuntersuchungen, die in dieser A r beit durchgeführt wurden, zeigen, daĆ die Streulichtzunahme nach der VerschleiĆbeanspruchung auf das Einbrechen und Abplatzen der Schichten zurückzuführen ist. Eigenspannungen in Interface, hervorgerufen durch sehr stark differierende thermische Ausdehnungskoeffizienten und der abrupte Sprung physikalischer Materialeigenschaften im Interface, wie DuktilitƤt und HƤrte, sind dafür verantwortlich.
Thesis Note
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1998