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Patent
Title
Vorrichtung zum Auftragen von Materialien, insbesondere amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffs
Other Title
Device for the application of materials, in particular amorphous hydrogen-containing carbon
Abstract
Bei einer Vorrichtung zum Auftragen harter Kohlenstoffschichten durch Hochfrequenzplasmaabscheidung wird die das zu beschichtende Substrat (19) tragende Elektrode (5) mit einer Quarzabdeckung (22) abgedeckt, die den Abschirmspalt (21) zwischen der Elektrode (5) und der diese teilweise umgebenden Abschirmung (17) ueberbrueckt. Zur Herstellung einer galvanischen Verbindung mit der Oberseite der Elektrode (5) ist der mittelere Bereich (26) der Quarzabdeckung (22) aus einer elektrisch leitenden Kohlenstoffmodifikation hergestellt.
Inventor(s)
Patent Number
1983-3336652
Publication Date
1985
Language
German