Fraunhofer-Gesellschaft

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Vorrichtung zum Auftragen von Materialien, insbesondere amorphen wasserstoffhaltigen Kohlenstoffs

Device for the application of materials, in particular amorphous hydrogen-containing carbon
 
: Bubenzer, A.; Koidl, P.; Pohl, F.; Dischler, B.

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Frontpage ()

DE 1983-3336652 A: 19831008
DE 1983-3336652 A: 19831008
DE 3336652 C2: 19851003
H05H0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IAF ()

Abstract
Bei einer Vorrichtung zum Auftragen harter Kohlenstoffschichten durch Hochfrequenzplasmaabscheidung wird die das zu beschichtende Substrat (19) tragende Elektrode (5) mit einer Quarzabdeckung (22) abgedeckt, die den Abschirmspalt (21) zwischen der Elektrode (5) und der diese teilweise umgebenden Abschirmung (17) ueberbrueckt. Zur Herstellung einer galvanischen Verbindung mit der Oberseite der Elektrode (5) ist der mittelere Bereich (26) der Quarzabdeckung (22) aus einer elektrisch leitenden Kohlenstoffmodifikation hergestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-40644.html