Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Amorphous carbon coatings prepared by high rate rf plasma deposition from fluorinated benzenes
| Applied Physics Letters 46 (1985), No.8, pp.739-741 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0003-6951 (Print)
ISSN: 1077-3118 |
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| English |
| Journal Article |
| Fraunhofer IAF () |
| Dünnschicht; fluorierter Kohlenwasserstoff; Plasmaverfahren |