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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Amorphous carbon coatings prepared by high rate rf plasma deposition from fluorinated benzenes
 
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1985
Journal Article
Title

Amorphous carbon coatings prepared by high rate rf plasma deposition from fluorinated benzenes

Author(s)
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Bubenzer, A.
Dischler, B.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Journal
Applied Physics Letters  
DOI
10.1063/1.95493
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Keyword(s)
  • Dünnschicht

  • fluorierter Kohlenwasserstoff

  • Plasmaverfahren

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