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Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)

Current and Conduct in Cleanrooms

	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart: Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 : 5. und 6. Mai 1999, Stuttgart Stuttgart, 1999
	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1999, Stuttgart> Meßtechnisches Praktikum <1999, Stuttgart>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Bekleidung; Fertigungsprozeß; luftgetragene Partikel; Mensch; Oberflächenreinheit; Partikelzähler; Personal; Reinheitszustand; Reinraum; Stickstoffnebler; Teilchen; Waferinspektion

Abstract
Das Personal ist aus der reinen Fertigung bis dato nicht wegzudenken und muß in den Reinraum integriert werden. Vorgestellt werden anhand von Beispielen zahlreiche Aspekte hinsichtlich angemessener Reinraumbekleidung, strömungsgerechtem Verhalten im Reinraum sowie Methoden zur korrekten Ausbildung und Sensibilisierung des Personals für reine Fertigungs- und Prozeßabläufe.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-35073.html