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1997
Conference Paper
Title
Reinigung und Inspektion von optischen Bauteilen
Other Title
Cleaning and Inspection of optical Components
Abstract
Es werden Verfahren zur automatischen Reinigung und Inspektion miniaturisierter optischer Komponenten vorgestellt und die Realisierung eines Inspektionsgerätes eingehend beschrieben. Dabei werden Möglichkeiten aufgezeigt, wie unterschiedliche Defekte auf Oberflächen optischer Komponenten erkannt und klassifiziert werden können.