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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Partikelmessungen in Gasen
 
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1991
Conference Paper
Title

Partikelmessungen in Gasen

Abstract
Vorliegender Artikel befaßt sich mit den generellen Partikelmeßmethoden für Reinstgase, wie der Streulichtmethode, Kondensationskernzählung und Auszählungmethode. Es wird auf Methoden der Probenahme bei Druckgasen eingegangen. Verschiedene Anwendungen der Partikelmessung in Gasen, wie die Qualifizierung von Gasen, Qualifizierung von Komponenten und Systemen werden an konkreten Beispielen erläutert. Abgerundet wird der Artikel durch Hinweise auf die Messung in Korrosion und toxischen Gasen sowie Tabellen zu einigen derzeit auf dem Markt befindlichen Partikelzählgeräten.
Author(s)
Dorner, J.
Müller, B.
Mainwork
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991  
Conference
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) 1991  
Meßtechnisches Praktikum 1991  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Fertigung

  • Halbleiter

  • high-pressure reducer

  • Hochdruckdiffusor

  • Kontamination

  • particle measurement

  • Particle sampling devices

  • Partikelmessung

  • Partikelmeßtechnik

  • Partikelzähler

  • Probenahme

  • Qualifying of Gases

  • Reinstgas

  • semiconductor

  • semiconductor manufacturing

  • Teilchen

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