Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Investigations of relaxation effects in Cu-lines on Si-substrates
| Michel, B.; Winkler, T. ; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Micro Materials. Micro Mat '97. Proceedings : April 16 - 18, 1997, Berlin, Germany
Berlin: DVM, 1997
ISBN: 3-932434-05-6
pp.467-470 |
| Micro Materials (Micro Mat) <2, 1997, Berlin> |
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| Conference Paper |
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