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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
 
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1993
Conference Paper
Title

Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten

Other Title
Scattered light particle measurement and particle detection in liquids
Abstract
Die Streulichtpartikelmessung hat die untere physikalische Nachweisgrenze erreicht. Aufgrund der Indirektheit des Detektionsprinzips können Partikelmessungen in Flüssigkeiten mit verschiedenen Meßgerätetypen stark voneinander abweichen. Die quantitative Teilchendetektion wird entscheidend von der Bauart bzw. Konzeption des Sensors beeinflusst. Die Partikelmessung in Chemikalien ist physikalisch nicht so gut zu beherrschen, wie in Reinstwasser. Die Detektion der Phasenverschiebung eröffnet eine differenzierte Teilchenbestimmung bei erhöhter Nachweiswahrscheinlichkeit für Teilchen mit geringem Berechnungsindex.
Author(s)
Ernst, C.
Mainwork
Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93  
Conference
Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum 1993  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • calibration

  • Flüssigkeit

  • Kalibrieren

  • Meßgerät

  • Messen

  • particle counter

  • Partikelmessung

  • Partikelzähler

  • REM-Auszählmethode

  • scattering light

  • SEM Counting method

  • Streulicht

  • Teilchen

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