Klein, kleiner, Nano. Optische Oberflächenmessverfahren zur Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen

Im Gegensatz zu den in der Industrie üblicherweise eingesetzten taktilen Systemen zur Oberflächenmessung eignen sich optische Verfahren sehr gut für die Beurteilung von Oberflächen, da sie meist auch eine direkte visuelle Repräsentation der Oberfläche ermöglichen.