Title

Workshop Smart Fabrication Qualitätsmanagement 1999

Corporate Author

Robert-Bosch-GmbH, Reutlingen

Elmos Semiconductor AG, Dortmund

Infineon Technologies, München

Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden

Publishing Place

Tabarz

Publication Date

1999