Title

Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik

Title Supplement

GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe

Person Involved

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

Publisher

Publishing Place

Berlin

Publication Date

2007

Series

GMM-Fachbericht; 53

ISBN

978-3-8007-3033-9

3-8007-3033-2

Conference