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Erforschung einer multifunktionellen Substrattechnologie (SiCer) für Sensoren höchster Leistung - TP4: Entwicklung der keramischen Basismaterialien für die multifunktionelle Substrattechnologie
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Funding Code
03WKDG01D
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Project Title
Erforschung einer multifunktionellen Substrattechnologie (SiCer) für Sensoren höchster Leistung - TP4: Entwicklung der keramischen Basismaterialien für die multifunktionelle Substrattechnologie
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Funder
Bundesministerium für Forschung, Technologie und Raumfahrt