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Title
Workshop Anforderungen an Dünnschichttechnologien für Mikrosysteme, Sensoren und Flachbildschirme 1997
Corporate Author
Verband Deutscher Maschinen- und Anlagenbau e.V. -VDMA-, Fachgruppe Produtronic, München
Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung
Fördergemeinschaft Dünne Schichten -FDS- e.V.
Publication Date
1997