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Neuartige Vorstufen für die räumlich getrennte Atomlagenabscheidung und Plasmaprozesse zur Herstellung von funktionellen Materialien in der fortgeschrittenen Anwendung
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Funding Code
490773082
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Project Title
Neuartige Vorstufen für die räumlich getrennte Atomlagenabscheidung und Plasmaprozesse zur Herstellung von funktionellen Materialien in der fortgeschrittenen Anwendung
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Funding Program
Sachbeihilfen
Funder
Deutsche Forschungsgemeinschaft
