Title

Mikro-Nano-Integration. Beiträge des 9. GMM-Workshops 2022

Title Supplement
21. - 22.11.2022, Aachen
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
Publisher
Publication Date
2022
Series
GMM-Fachbericht; 105
ISBN
978-3-8007-5990-3
978-3-8007-5991-0
3-8007-5990-X
Conference
Acronym
MNI
Language
German