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Title
Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen
Title Supplement
Verbundprojekt 1992 - 1994. Zwischenbericht
Corporate Author
Fraunhofer-Institut für Optik und Feinmechanik -IOF-, Jena
Publishing Place
Teltow
Publication Date
1994
Series
Innovationen in der Mikrosystemtechnik; 14