Title

Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile '94. Tagungsband

Corporate Author
Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf
Publisher
Publishing Place
Düsseldorf
Publication Date
1994
Series
VDI-Berichte; 1172
ISBN
3-18-091172-7
Conference