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Funding Code
03WKBW02C
Project Title
03WKBW02C
Description
Wachstumskern S-PAC - Verbundprojekt 2: Flexible automatisierte Handlings- und Transfersysteme für die Dünnwaferfertigung, TP2.3: Beschreibung des Festigkeits- und Verformungsverhaltens dünner Wafer
Keyword(s)
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Start Date
2011
End Date
31.01.2014
Framework Progam
Funding Program
BMBF