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Projekt
NT 2735B/0
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Project Title
NT 2735B/0
Description
Herstellung und Elektronenoptische Vermessung von Mikromechanischen Eichnormalen für die Halbleitertechnik
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Start Date
1987
End Date
31.12.1989
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF