Options
Project Title
NT 2686Q/0
Description
Verbundprojekt: Submikron - Teilvorhaben: Entwicklung der Grundlagen für Trockenätzprozesse mit dem Ziel einer Auflösung unter 0,5 Ym
Keyword(s)
Loading...
Start Date
1985
End Date
31.12.1991
Framework Progam
Funding Program
BMBF