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Funding Code
02P14K613
Project Title
02P14K613
Description
KMU-innovativ Verbundprojekt: Herstellung nanostrukturierter Masterwerkzeuge mittels 3D-Laserlithographie für die UV-Replikation diffraktiver optischer Elemente (LithURep), Teilprojekt: Herstellung der invertierten Demonstratorstruktur mittels 3D-Laserlithographie
Keyword(s)
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Start Date
2015
End Date
31.07.2017
Framework Progam
Funding Program
BMBF