02P14K613

KMU-innovativ Verbundprojekt: Herstellung nanostrukturierter Masterwerkzeuge mittels 3D-Laserlithographie für die UV-Replikation diffraktiver optischer Elemente (LithURep), Teilprojekt: Herstellung der invertierten Demonstratorstruktur mittels 3D-Laserlithographie