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Fraunhofer-Gesellschaft
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Funding Code

16SV474 /6

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Project Title
16SV474 /6
Description
Verbundprojekt: Lasergestütztes Sensorsystem zur Online-Prozeßkontrolle beim US-Bonden von Mikrosystem (LASOP) - Teilvorhaben: Einflüsse des Trägersubstrates und der Gehäuseanschlüsse auf Bondqualität und Prozeßregelung
Keyword(s)

Lasergestütztes Senso...

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Start Date
1996
End Date
31.10.1999
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung  
Funding Program
Entwicklung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme  
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung  
BMBF
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