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Funding Code
NT 2635 /0
Project Title
NT 2635 /0
Description
Anwendung integrierter Teststrukturen zur prozeßbezogenen Charakterisierung von Silizium für Vlsi-Anwendungen durch Ausbeuteuntersuchungen
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Start Date
1982
End Date
28.02.1985
Framework Progam
Funding Program
BMBF