Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

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  • Patent
    Vorrichtung und Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    (B3) Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche, in einem Kanal mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche umfasst und einer Einrichtung zum Aufbau einer Druckdifferenz in dem Kanal, so dass die Fluessigkeit in einer ersten Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt wird, bis zu einem vorbestimmten Zeitpunkt, um die aufgebaute Druckdifferenz an dem vorbestimmten Zeitpunkt zu reduzieren. Der Kanal ist dabei so ausgebildet, dass sich bei Bewegung der Fluessigkeit in der ersten Richtung eine der Druckdifferenz entgegengerichtete Gegendruckdifferenz aufbaut, die die Fluessigkeit in eine zweite, der ersten Richtung entgegengesetzte Richtung ueber die vorbestimmte Flaeche bewegt. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Hin- und Herbewegen einer Fluessigkeit ueber eine vorbestimmte Flaeche in einem Kanal, mit einer Kanalwand, die die vorbestimmte Flaeche aufweist.
  • Patent
    Mikropumpe und Verfahren zum Pumpen eines Fluids
    ( 2008)
    Otto, T.
    ;
    Schüller, M.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Baum, M.
    ;
    Morschhauser, A.
    (A1) Eine Mikropumpe weist eine Membran auf, die sich ueber einen Querschnitt eines Fluidkanals erstreckt und eine fluidische Komponente mit einer Durchgangsoeffnung durch die Membran aufweist, wobei die fluidische Komponente derart ausgebildet ist, dass ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in einer ersten Richtung groesser ist, als ein Stroemungswiderstand durch die fluidische Komponente bei einer Auslenkung der Membran in eine zweite Richtung, so dass eine Hin- und Herauslenkung der Membran einen Nettofluidfluss durch die fluidische Komponente in die erste Richtung hervorruft. Ferner schafft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Pumpen eines Fluids mittels derselben Mikropumpe.
  • Patent
    Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran
    ( 2007)
    Otto, T.
    ;
    Morschhauser, A.
    ;
    Nestler, J.
    ;
    Gessner, T.
    ;
    Voigt, S.
    (A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere fuer Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fliessfaehigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt veraendert, um eine Anhaeufung der Partikel an einer oder mehreren Stellen der Schicht zu erhalten. Die Schicht wird anschliessend mit den angehaeuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermoeglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.