Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM

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  • Patent
    Verfahren und Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung von Ausfallprozessen
    ( 2009)
    Wittler, O.
    ;
    Wunderle, B.
    ;
    Mazloum Nejadari, S.
    ;
    Schacht, R.
    ;
    Michel, B.
    (A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur thermischen Ueberwachung eines Gegenstandes 3, bei welchem eine durch die fortschreitende Beschaedigung des zu untersuchenden Gegenstandes 3 hervorgerufene Veraenderung des Antwortverhaltens einer oder mehrerer temperaturabhaengiger Messgroessen auf die Einpraegung eines definierten Heizimpulses 10 auf den Gegenstand untersucht wird. Hierbei wird der definierte Heizimpuls 10 durch elektrische Ansteuerung von Mitteln zur Waermeerzeugung 1, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, erzeugt und das Antwortverhalten auf das Aufbringen des definierten Heizimpulses an Mitteln zur Temperaturerfassung 2, die an oder in dem Gegenstand 3 angeordnet sind, ueber mindestens eine durch die Mittel zur Temperaturerfassung 2 erzeugte elektrische Messgroesse gemessen.