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  • Publication
    Ultrapräzisionsverfahren zur Erhöhung der Güte abbildender Beugungsgitter
    (Fraunhofer Verlag, 2018)
    Kühne, Stefan
    Die optische Spektroskopie umfasst Methoden, mit denen die spektrale Intensitätsverteilung elektromagnetischer Strahlung ermittelt werden kann. Zum Aufbau kompakter Spektrometer werden optische Elemente benötigt, die dispergierende und abbildende Eigenschaften in einer Oberfläche vereinen. Die Herstellung solcher Optiken erfordert Fertigungsmethoden, die den hohen Güteanforderungen diffraktiver Optiken gerecht werden. Ziel der Arbeit ist die Optimierung der Form- und Feingestalt mechanisch gefertigter Beugungsgitter mit starker Krümmung. Im Fokus der Untersuchungen stehen das Stoßen und das Furchen auf einer modifizierten Ultrapräzisionsmaschine. Auf Basis von Parameterstudien und am Beispiel praxisnaher Anwendungen wurden die Prozesse optimiert und validierte Prozessmodelle zur Verfügung gestellt. Zur weiteren Optimierung der Güte wurde ein Atomstrahlätzverfahren verwendet. Die Arbeit liefert einen wichtigen Beitrag zur Erhöhung der Güte ultrapräzise gefertigter Beugungsgitter. In Ergänzung zur Interferenzlithografie stellen die bereitgestellten Fertigungsverfahren eine wirtschaftliche Erweiterung hinsichtlich der Nutzung flexibler Freiheitsgrade und der Materialauswahl dar.
  • Publication
    Machine-integrated measurement of specular free-formed surfaces using phase-measuring deflectometry
    ( 2009)
    Richter, C.
    ;
    Kurz, M.
    ;
    Knauer, M.C.
    ;
    Faber, C.
    ;
    Olesch, E.
    ;
    Häusler, G.
    ;
    Oberschmidt, D.
    ;
    Eßmann, J.
    ;
    Uhlmann, E.
    The authors present first results of a project with the long-term goal of performing optical measurements of ultra precision turned objects within the turning machine. Whereas ultra precision turning machines facilitate the manufacturing of optical free-formed parts, the task of measuring these objects is not yet solved satisfactorily. Moreover, an optical measurement within the machine would be of great advantage concerning a possible feedback to the turning process. Phase-measuring deflectometry has the potential to solve these tasks, but the system has to be adapted to provide the necessary dynamic range and to cope with the limited installation space within the system. We present measuring results of ultra precise turned parts manufactured on a 5-axis ultra precision machine. The surface of these objects displays a local slope up to 30. Furthermore, the potential for future integration of such a measurement system into an ultra precision lathe is demonstrated.
  • Publication
    Ultra precision machine integrated measurement of spheres and aspheres with a twyman-green interferometer
    ( 2008)
    Uhlmann, E.
    ;
    Kurz, M.
    ;
    Bluemel, T.
    ;
    Neubert, R.
    ;
    Oberschmidt, D.