Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

Now showing 1 - 1 of 1

Mikromechanisches Element und Sensor zur Ueberwachung eines mikromechanischen Elements

( 2008)
Klose, T.
;
Conrad, H.
;
Grasshoff, T.

(A1) Ein mikromechanisches Element umfasst ein bewegliches Funktionselement, ein erstes Halteelement, ein zweites Halteelement, ein drittes Halteelement und ein viertes Halteelement. Das erste Halteelement und das Funktionselement sind dabei an einer ersten Verbindungsstelle, das zweite Halteelement und das Funktionselement an einer zweiten Verbindungsstelle, das dritte Halteelement und das Funktionselement an einer dritten Verbindungsstelle und das vierte Halteelement und das Funktionselement an einer vierten Verbindungsstelle miteinander verbunden. Des Weiteren weisen das erste Halteelement und das zweite Halteelement je ein piezoelektrisches Antriebselement auf, wobei das Antriebselement des ersten Halteelements und das Antriebselement des zweiten Halteelements ausgelegt sind, um das Funktionselement entsprechend einer elektrischen Anregung zu bewegen.