Title

Mikro-Nano-Integration. Beiträge des 6. GMM-Workshops 2016. CD-ROM

Title Supplement
5. - 6. Oktober 2016 in Duisburg
Editor(s)
Hoffmann, Martin  
Corporate Author
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Publisher
Publishing Place
Berlin
Publication Date
2016
Series
GMM-Fachbericht; 86
ISBN
978-3-8007-4278-3
3-8007-4278-0
Conference