Title

Mikro-Nano-Integration. Beiträge des 6. GMM-Workshops 2016. CD-ROM
Titel Supplements
5. - 6. Oktober 2016 in Duisburg
Hrsg
Institut
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-
Verlag
Verlagsort
Berlin
Datum
2016
Serie
GMM-Fachbericht
ISBN
978-3-8007-4278-3
3-8007-4278-0
Konferenz