Title

9. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2003. Tagungsband

Title Supplement

Im Rahmen der gemeinsamen Statusseminare zu den BMBF-Verbundprojekten InFON, LONGLIFE, MODSYS, REMIKOS; 31. März und 1. April 2003, Bielefeld

Person Involved

Corporate Author

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-

VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik

Publisher

Fraunhofer IZM, ASE

Publishing Place

Paderborn

Publication Date

2003

Conference