Pfeifer, TiloTiloPfeiferSchneefuß, KarstenKarstenSchneefuß2022-03-032022-03-032002https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/202531Die Qualität großflächiger Mikrostrukturen zu prüfen, ist eine besondere Herausforderung für die optische Messtechnik. Wer interferometrische Auswertung einsetzt, kann die Messzeit entscheidend verringern.deInterferometriegroßflächige Mikrostrukturprüfung670658338journal article