Digitalisierung der Materialforschung an Dünnschichtmaterialien am Beispiel von hochauflösenden piezoelektrischen Ultraschallsensoren - Teilvorhaben: Digitale Beschreibung von Abscheideverfahren für piezoelektrische Dünnschichten

2025-05-272025-05-27https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/487992Digitalisierung der Materialforschung an Dünnschichtmaterialien am Beispiel von hochauflösenden piezoelektrischen Ultraschallsensoren - Teilvorhaben: Digitale Beschreibung von Abscheideverfahren für piezoelektrische Dünnschichten