Weinreich, WenkeWenkeWeinreichSeidel, KonradKonradSeidelPolakowski, PatrickPatrickPolakowskiDrescher, MaximilianMaximilianDrescherGummenscheimer, A.A.GummenscheimerNolan, M.G.M.G.NolanCheng, L.L.ChengTriyoso, D.H.D.H.Triyoso2022-03-132022-03-132016https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/393566en621La-doped ZrO2 based Back End of Line (BEoL) decoupling capacitorsposter