Weisener, T.T.WeisenerBraunschweiler, A.A.Braunschweiler2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/326547Miniaturisierte Verdrängerpumpen sind eine neue Alternative in der Mikrohydraulik. Zu den geeigneten Herstellverfahren gehört die Funkenerosion.deElectro Discharge MachiningFunkenerosionHydraulikMicro Electro Mechanical SystemsMikrofertigungMikrohydraulikMikrosystemtechnikPumpeZahnradpumpe670Mikrobearbeitung mit dem Funkenerosionsverfahren am Beispiel einer ZahnradpumpeMicrofabrication of a pump by EDMconference paper