Scheffel, BertBertScheffelTenbusch, MatthiasMatthiasTenbuschSaager, StefanStefanSaager2024-05-282024-05-282022-03-17https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/468896Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Abscheiden einer Kohlenstoffschicht, wobei mittels einer ersten Stromversorgungseinrichtung (9) eine Bogenentladung zwischen einer Elektronenquelle (10) und einem Verdampfungsmaterial (2) ausgebildet wird, wobei der Minuspol der ersten Stromversorgungseinrichtung elektrisch leitfähig mit der Elektronenquelle (10) und der Pluspol der ersten Stromversorgungseinrichtung (9) elektrisch leitfähig mit dem Verdampfungsmaterial (2) verbunden wird und wobei ein Permanentmagnetsystem (5) und eine Magnetspule (6) rotationssymmetrisch um das Verdampfungsmaterial (2) angeordnet werden.Des Weiteren ist das Verdampfungsmaterial (2) als Graphitstab ausgebildet, welches zumindest an dem zu verdampfenden Stabende des Graphitstabes von mindestens einem Wärmedämmelement (4) umschlossen wird.depatentDE102020124269 A1DE202010124269