Neuholz, RenéRenéNeuholz2022-03-062022-03-062021https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/27065410.1007/s35144-021-1285-4Mithilfe der laserinduzierten Plasmaspektroskopie lassen sich Kontaminationen von Oberflächenper digitalisierter Inline-Messung schon während des Fertigungsprozesses erkennen. Im Rahmen des Projekts""ALASKA"" wurde diese Technologie genutzt und in eine vollständig automatisierte Einheit für komplexe Prozessketten überführt.de620669621660671journal article