Schroedter, RichardRichardSchroedterSchwarzenberg, MarkusMarkusSchwarzenbergJanschek, K.K.JanschekGrahmann, JanJanGrahmann2022-03-142022-03-142019https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/406665de621Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscannerconference paper