Beyer, S.S.BeyerBrunner, D.D.BrunnerGottschalk, T.T.GottschalkJaenicke-Rößler, K.K.Jaenicke-RößlerLeitner, G.G.LeitnerRaether, F.F.RaetherRuska, J.J.RuskaThimm, A.A.Thimm2022-03-092022-03-091999https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/332801de666620Kosten- und Qualitätsoptimierung bei der Sinterung von AlN-Keramikconference paper