2022-03-092022-03-091996https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/327175deFertigungFertigungsoptimierungFlüssigkeitLuftMessenOberflächePartikelmessungPartikelmeßtechnikQualitätssicherungReinraumReinraumtechnikTeilchenTreibgas670Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96conference proceeding