2022-03-092022-03-091997https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/329357deElektrostatikFertigungMessenOberflächeOberflächenanalysePartikelmessungReinraumReinraumtechnikTeilchen670Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97conference proceeding